有機(jī)廢氣催化劑采用低溫催化燃燒法，先通過熱交換器預(yù)熱到200~400℃，再進(jìn)入燃燒室，通過催化劑床時(shí)，碳?xì)浠衔锏姆肿雍突旌蠚怏w中的氧分子分別被吸附在催化劑的表明而活化。由于表面吸附降低了反應(yīng)的活化能，碳?xì)涮細(xì)浠衔锱c氧分子在較低的溫度下迅速氧化，產(chǎn)生二氧化碳和水。和直接燃燒法相比，溫度低、節(jié)能、凈化率高、操作方便。但是催化劑易中毒、不耐高溫，而且投資較大。適用于高溫或高濃度的有機(jī)廢氣。

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